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Disco ceramico al nitruro di silicio

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Il nitruro di silicio può essere applicato anche alle celle solari. Dopo che il film di nitruro di silicio è stato placcato da PECVD, non solo può essere utilizzato come film antiriflesso per ridurre la riflessione della luce incidente, ma anche, nel processo di deposizione del film di nitruro di silicio, entrano gli atomi di idrogeno del prodotto di reazione il film di nitruro di silicio e il wafer di silicio. Agisce come un difetto di passivazione. Qui, il rapporto del numero atomico di nitruro di silicio azoto non è strettamente 4:3, ma varia entro un certo intervallo a seconda delle condizioni di processo e le proprietà fisiche del film corrispondenti a diversi rapporti atomici sono diverse.
Per turbine a gas ad altissima temperatura, motori aeronautici, forni elettrici, ecc.

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